半导体案例

电路120m3/h 超纯水系统



电路120m3/h 超纯水系统

所属行业:半导体
项目规模:100m³/h
工艺简介:UF+双级RO+EDI+精处理
核心产品:膜系统
产水:电阻率≥18MΩ·cm,TOC<200ppb,SiO2<50ppb,粒子<10个/mL

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