半导体案例

江苏超纯水处理项目


项目规模:15m³/h
工艺简介:多介质过滤+预脱盐+2B3T+深脱盐+精脱盐+脱气+抛光阴床+两级抛光+终端超滤
产水:电阻率≥18MΩ·cm,TOC<1ppb,SiO2<0.1ppb,B <50ppt,金属离子<5ppt,DO <25ppb

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