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江苏30m³/h超纯水系统

所属行业：电子半导体
项目规模： 15m3/h氮磷纯水+30 m3/h非氮磷超纯水
工艺简介：多介质过滤+两级反渗透+EDI+超纯水精处理
产水：电阻率≥18MΩ·cm，TOC＜200ppb，SiO2＜50ppb，粒子＜10个/mL

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江苏15m3/h氮磷零排放系统

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