半导体案例

南通半导体120m3/h 超纯水系统


南通半导体120m3/h 超纯水系统

所属行业:电子半导体
项目规模:120m³/h ASTM D5127-2007标准
工艺简介:UF+双级RO+EDI+精处理(脱氧、去TOC、颗粒)
核心产品:膜系统
产水:电阻率≥18MΩ·cm,TOC≤15ppb,DO≤35ppb

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